Beschreibung einzelner Lerneinheiten (ECTS-Lehrveranstaltungsbeschreibungen) pro Semester

Grundkenntnisse Technik (BSc Mechatronik, Informatik)

• Einführung Mikro- und Nanotechnologie in Real life (kurzer Überblick) (Mikrochip, Sensorik)
• Grundlagen der Photonik
• Subtraktive Fertigungsmethoden wie Trocken- und nasschemisches Ätzen (kurzer Exkurs Vakuum und Atommodell für Analytik und Fertigung)
• Additive Fertigungsmethoden (Beschichtung und Strukturierung)
• Mess- und Analysetechnik (Bildgebung und Materialanalyse)

• Die Studierenden können aus dem Gebiet der Halbleitertechnologie (Herstellungsmethoden von integrierten Schaltungen) spezifische Methoden beschreiben.
• Die Studierenden besitzen einen Überblick über Lithographieverfahren (Abbildung der entsprechenden Strukturen einer Entwurfsebene auf der Substratoberfläche).
• Die Studierenden verfügen über einen Überblick über Strukturübertragungsprozesse (subtraktive und additive Verfahren in der Mikrostrukturierung).
• Die Studierenden sind in der Lage einen Überblick über die wichtigsten für die Mikrotechnik relevanten Mess- und Charakterisierungsverfahren und -technologien zu geben.
• Die Studierenden haben einen Einblick in die Photonik erhalten und kennen deren Anwendungen

Themenbezogener Vorlesungsblock / Kleingruppenarbeiten / Reinraumlaborübung

Vorlesungen (Präsenzveranstaltungen) mit integrierten Übungen zu den einzelnen Themen der Lehrveranstaltung

Selbstständiges Erarbeiten und Vertiefen von Lehrinhalten anhand von Online-Materialien (wissenschaftliche Literaturquellen)

Die Gesamtnote setzt sich aus einer schriftlichen Prüfung, der Mitarbeit, Abgabe von Übungsaufgaben sowie den Vorbereitungsaufgaben zur Laborübung zusammen.

Für eine positive Gesamtnote müssen alle Teile positiv bewertet werden.

Durch die ausgewogene Verteilung von Präsenzlehrveranstaltung, Übungen und Selbststudium wir ein asynchroner Lehransatz unterstützt. 

Die Übungen basieren auf eigenständigen Literaturrecherchen für eine vertiefende Einarbeitung in das Thema und fördern die Fähigkeiten des akademischen Arbeitens.

Eigene Skripten, neueste Veröffentlichungen und ausgewählte Kapitel aus Büchern, z.B.

• Chen, W.-K. (Ed.). (2007). The VLSI Handbook (2nd ed.). Boca Raton, FL: CRC/Taylor & Francis (= The Electrical Engineering Handbook Series).

• Helbert, J. N. (Ed.). (2001). Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology, and Applications (2nd ed.). Norwich, NY: Noyes Publications/William Andrew Pub.

• Madou, M. J. (2018). Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology. Boca Raton: CRC Press.

• Barbillon, G. (2019). Engineering of Micro/Nano Biosystems: Fundamentals & Applications. Springer.

Blended Learning mit einem starken Anteil an Präsenzlehrveranstaltungen

• 70% Präsenzlehrveranstaltung
• 10% Laborübungen
• 20% asynchron begleitend